電子行業水質標準
中國電子行業超純水國家標準
指 標 名 稱
一 級 水(EW-1)
二 級 水(EW-2)
電阻率MΩ.CM. (25℃)
18(95‰時間)不低于17
15(95‰時間)不低于13
硅 ≤μg/L
2
10
>1μm 微粒數
0.1
5
細菌個數 ≤個/ml
0.01
0.1
銅 ≤μg/L
0.2
1
鋅 ≤μg/L
0.2
1
鎳 ≤μg/L
0.1
1
鈉 ≤μg/L
0.5
2
鉀 ≤μg/L
0.5
2
氯 ≤μg/L
1
1
硝酸根 ≤μg/L
1
1
磷酸根 ≤μg/L
1
1
硫酸根 ≤μg/L
1
1
總有機碳 ≤μg/L
20
100